ẢNH HƯỞNG CỦA BỀ DÀY, NHIỆT ĐỘ VÀ NỒNG ĐỘ TẠP CHẤT ĐỐI VỚI HẰNG SỐ MẠNG CỦA MÀNG MỎNG ZIRCONIA PHA TẠP YTTRIA

Tóm tắt

Ảnh hưởng của bề dày, nhiệt độ và nồng độ tạp chất đối với hằng số mạng của màng mỏng zirconia pha tạp yttria đã được nghiên cứu bằng phương pháp thống kê momen. Biểu thức giải tích tính toán hằng số mạng của lớp ngoài và lớp trong được suy ra có tính đến hiệu ứng phi điều hòa của dao động mạng tinh thể. Hằng số mạng của màng mỏng tăng lên cùng với sự tăng lên của nhiệt độ và nồng độ tạp chất. Sự gián đoạn trong cấu trúc tuần hoàn của mạng tinh thể tại bề mặt là nguyên nhân dẫn đến sự giãn nở màng mỏng khi kích thước giảm. Các kết quả tính toán được so sánh với các kết quả thực nghiệm. Từ khóa: hằng số mạng, bề dày, nồng độ tạp chất, màng mỏng YSZ, thống kê momen.